抛光加工中试片与抛光盘间的液流分析

摘要：

本研究开发了一种在任何抛光盘转速下确定和预报抛光液影响的方法,并结合数字仿真与实验研究共同进行.

关键词： 化学机械抛光 数学仿真 抛光液传输

作者: 林彬 沈中伟 郑家锦 袁巨龙 阮键 张立彬

作者单位: 天津大学高温结构陶瓷及工程陶瓷加工技术教育部重点实验室 浙江工业大学职教学院 浙江工业大学浙西分校 浙江工业大学机电学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国磨削技术学术会议

会议地点: 泉州

会议语种:中文

页码: 57-59

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）