非致冷铁电薄膜热释电红外探测器阵列的研究

摘要：

用改进的Sol-Gel技术研制出BST、PLT和PZT铁电薄膜.它们具有优良的热释电性能,是制备非致冷热释电红外探测器阵列优选材料;解决了制备非致冷铁电红外探测器阵列的关键技术,研制出8元、9元、10元线列和8×8元阵列,其电压响应率达8.6×10<”3>V/W.

关键词： 非致冷 铁电薄膜 热释电 红外探测器

作者: 刘梅冬 曾亦可 李楚容 邓传益 夏冬林 刘少波

作者单位: 华中科技大学电子科学与技术系(武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 140-143

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）