激光干涉仪与纳米精度检测

摘要：

文章对光外差、移相、正弦相位调制等几种常见的纳米精度干涉测量技术进行了综述,并介绍了上海光机所的相关工作.

关键词： 半导体激光器 光学检测 纳米测量 激光干涉仪

作者: 王向朝

作者单位: 中国科学院 上海光学精密机械研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国光电技术及系统学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 73-76,85

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）