硅基底平面波导光通讯集成器件的模拟、设计及工艺

摘要：

随着平面波导制作工艺的日益成熟,制造精度的不断提高,成本的持续下降,平面波导光集成器件尤其是Si基底上SiO”2,”平面波导集成器件在光通信系统中的应用更加重要和广泛,Y分支分束器、MMI耦合器、阵列波导光栅(AWG)和蚀刻衍射光栅（EDG）等平面波导集成器件正扮演着越来越重要的作用,BPM等数值计算方法在这些器件的设计和模拟中也起了重要作用,本文就此作了一些探讨.

关键词： 平面波导 陈列波导光栅 蚀刻衍射光栅 波分复用 光束传播 光集成器件 模拟设计

作者: 何赛灵 殷源 戴道锌 盛钟延 王谦 吕俊 周勤存

作者单位: 浙江大学 光电系 光及电磁波研究中心(浙江杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国光电技术及系统学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 65-72

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）