软X射线激光多层膜均匀性控制技术

摘要：

软X射线激光技术在近年来得以较快的发展,而多层膜是其不可缺少的一项基础技术,软X射线激光多层膜本身的要求使得多层膜的结构性需达到很高的水平.现就软X射线激光多层膜的均匀性控制技术进行研究,以期得到更加精确的膜层结构.

关键词： 软X射线激光 多层膜 均匀性控制 膜厚控制 制备方法

作者: 林炳 金春水 马月英 裴舒 曹健林

作者单位: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室(吉林长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 154-160

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）