极紫外与软X射线非周期多层膜优化设计及初步研制
以周期膜理论为基础,改进了已有的设计方法,通过采用随机数的方法,发展了一种普适的多层膜设计方法,这种方法除可设计一般的周期多层膜,更重要的是它可以根据选定评价因子,设计不同要求的非周期多层膜.根据实际要求,完成了积分反射率最大多层膜、宽带平坦型多层膜、校正光源发射不均匀性多层膜和选波长多层膜等.这些多层膜各有特点,可满足不同应用的要求.用磁控溅射方法对一种宽带多层膜进行了制备.最后的X射线衍射测量和反射率的相对测试表明,与周期膜系相比,非周期多层膜的带宽展宽,反射率积分值增加,但峰值反射率略有降低.
软X射线 多层膜 随机数 磁控溅射 反射率 优化设计
王占山
同济大学玻耳固体物理研究所(上海)
国内会议
上海
中文
138-143
2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）