光通信用光学薄膜与镀膜设备

摘要：

阐述了镀制如100GHz、50GHzDWDM滤光片及GFF滤光片等滤光片的镀膜机必须具备的条件.介绍了本公司研制生产的NBPF-2型离子辅助蒸镀镀膜机.

关键词： 光学滤光片 离子辅助蒸镀 薄膜技术 镀膜设备

作者: 小泉达也 孙大雄 范滨

作者单位: 株式会社光驰(OPTORUN),日本琦玉县川越市

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 127-133

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）