关键词： 极紫外 光源 紫外线 短波光学
作者: 陈星旦
作者单位: 中国科学院 长春光机与物理所(吉林长春)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第九届全国光电技术及系统学术会议
会议地点: 杭州
会议语种:中文
页码: 13-15
在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）