关键词： 镀膜材料 杂质含量 折射率 透过率 五氧化二钽薄膜
作者: 代武宁 代国光 金辉
作者单位: 北京巨玻光电技术有限公司(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 221-225
在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）