关键词： 镀膜机 训练软件 真空镀膜 薄膜制备
作者: 孙纯 马秀芳 沈元华
作者单位: 复旦大学物理系(上海)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 210-214
在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）