HOM系列高精度光学膜厚监控系统的研制

摘要：

叙述了新研制的适用于DWDM窄带滤光片成膜控制的高精度光学膜厚监控系统.该系统在光谱带宽0.1nm条件下,暗噪声小于±0.005℅,性能优于目前的报道.使用它已成功地实现了100GHz,50GHz DWDM窄带滤光片全自动成膜监腔.由其派生出的HOM系列的其他类型光学膜厚监控系统,可适用于不同的优质膜的过程控制.

关键词： 镀膜 光学膜厚监控 DWDM滤光片 光学镀膜

作者: 龚健 孙大雄 李刚正

作者单位: 株式会社光驰(OPTORUN),日本琦玉县川越市

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 96-104

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）