薄膜应力分析及一些测量结果

摘要：

论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性,分析了应力的形成原因及沉积参数、老化条件的关系,给出了应力的简单测试方法及部分结果.

关键词： 热应力 薄膜应力 沉积参数 老化条件

作者: 范瑞瑛 范正修

作者单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 84-91

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）