硫化锌基底上减反膜的镀制

摘要：

硫化锌是红外波段重要的光学材料,在许多光电系统应用中,要求镀制适当的减反膜增加其透过率.介绍了硫化锌基底上的减反膜,该设计是用薄的氧化钇层作为与硫化锌的结合层,用一氧化硅和锗分别作为低、高折射率膜料的膜堆组成的.这种五层膜满足环境稳定性标准,在3μm～5μm波段的某应用范围内平均透过率即可达96℅,并在4.2μm处有超过98℅的峰值透过率.

关键词： 光学膜 结合层 氧化钇膜 膜系设计 减反膜设计

作者: 苏现军 何家元

作者单位: 中国航空工业第一集团公司041中心(河南洛阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 68-70

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）