用于辅助镀膜的霍尔等离子体源

摘要：

论述了该源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.设计采用了永久磁铁并利用极靴产生发散磁,沿轴向有较大梯度的磁场,又称该源为端部霍尔加速器.最后给出了束流及均匀区实测结果.

关键词： 光学镀膜 离子束辅助镀膜 等离子体加速 霍尔加速器

作者: 尤大伟 黄小刚 武建军

作者单位: 中国科学院空间科学与应用研究中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 58-62

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）