高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统

摘要：

介绍一种无栅霍尔离子束辅助镀膜系统.并对该系统的特点、性能和应用结果作了叙述.

关键词： 无栅霍尔离子源 光学薄膜 薄膜沉积 离子束辅助镀膜 薄膜制备

作者: 冯毓材 江建国

作者单位: 北京东方安泰克高技术有限公司(北京) 北京光电技术研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 45-48

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）