宽光谱膜厚监控仪的研制

摘要：

在介绍宽光谱膜厚监控原理和评价函数的基础上,重点介绍系统硬件和软件组成,最后给出该仪器的实验结果并对其精度进行分析.

关键词： 宽光谱 镀膜 膜厚监控仪 光学薄膜

作者: 周鹏飞 陈桂莲 张荣福

作者单位: 上海理工大学光电学院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 36-40

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）