BF的光学薄膜

摘要：

叙述了近年在北京电影机械研究所(BF)研发的光学薄膜元器件,讨论了其中的技术要点.同时对所采用的离子辅助技术及膜层厚度监控技术进行了讨论.

关键词： 光学薄膜 滤光片 淀积过程 膜层厚度 离子辅助技术

作者: 赵福庭 胡泉兴 李建华

作者单位: 北京电影机械研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 27-35

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）