光学薄膜淀积的计算机仿真

摘要：

介绍了利用计算机对光学薄膜淀积过程进行仿真,编写了基于Matlab的计算机仿真程序.对采用反射率极值法监控的镀膜系统的薄膜淀积结果以及薄膜淀积过程中监控片透射率的实时变化进行了模拟,根据模拟结果所计算的薄膜的光学特性曲线与成膜的实测结果一致.

关键词： 薄膜淀积 极值监控法 计算机模拟 光学薄膜 计算机仿真

作者: 杨明红 刘劲松 陈清明 张波

作者单位: 华中理工大学激光技术国家重点实验室(湖北武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 15-18

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）