有限元法计算膜厚均匀性

摘要：

利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法.

关键词： 膜厚均匀性 发射特性 有限元法 光学薄膜

作者: 阴晓俊 费书国 章月州 孔志坤

作者单位: 沈阳仪器仪表工艺研究所(辽宁沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国薄膜学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 5-10

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）