大尺寸固相颗粒电化学复合沉积工艺的关键技术
边缘效应和结瘤现象是大颗粒电化学复合沉积工艺中的突出问题.本文针对性地提出非电屏蔽和反向刻蚀两项解决措施,并通过工艺试验证了其有效性.
复合沉积 边缘效应 结瘤现象 非电屏蔽 反向刻蚀 电化学加工
梁延德 李会军
大连理工大学
国内会议
苏州
中文
200-202
2001-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
复合沉积 边缘效应 结瘤现象 非电屏蔽 反向刻蚀 电化学加工
梁延德 李会军
大连理工大学
国内会议
苏州
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