基于LIGA技术的微细电火花加工研究

摘要：

实验探讨了采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术.通过同步辐射深度刻得到具有微细结构的胶模具,使用电铸技术得到镶嵌在胶结构中的铜工具电极,去胶后利用该电极进行微细电火花加工实验,在不锈钢上加工出异形微细孔.

关键词： 微细加工 LIGA技术 电火花加工 制备工具电极

作者: 彭良强 伊福廷 张院春 邹丽芸 张菊芳 韩勇

作者单位: 中国科学院高能物理研究所 北京市机电研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 128-129

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）