特种加工技术在CVD金刚石膜光整加工中的应用

摘要：

综述了特种加工技术在CVD金刚石膜光整加工中应用,讨论了不同方法的加工机理以及工艺性能和特点,介绍了一种电蚀加工CVD金刚石膜的新方法.

关键词： 特种加工技术 金刚石膜 光整加工 化学气相沉积

作者: 郭钟宁 王成勇 刘晓宁 匡同春

作者单位: 广东工业大学机电工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 353-356

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）