集成智能传感器的研究

摘要：

现代科学技术,特别是大规模集成电路技术的迅猛发展,以及计算机技术的日益普及,迫切需要大量智能传感器的应用.本文将阐述了集成式智能传感器的设计原理、制造技术和发展方向,以及智能传感器的关键技术.

关键词： 集成 智能式 传感器 设计原理 制造技术

作者: 曾忠 林辉 季成

作者单位: 上海理工大学机械工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 319-321

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）