微细电化学直写加工技术的研究

摘要：

围绕微细电化学加工技术的探索以及在微型机械/MEMS中的应用,构建了基于微细电化学加工用电源、微进给机构、状态检测模块和计算机的微细电化学直写加工系统,初步实验研究了微小探针和微小孔的制作工艺,以及分别采用材料去除和淀积的直写加工技术.

关键词： 微细电化学加工 微细探针 微小孔 直写加工 光刻技术

作者: 郑云飞 李勇 杨光 周兆英

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 239-242

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）