关键词： 场发射扫描电镜 ＩＣ解剖分析
作者: 陈文雄 徐军
作者单位: 大学电镜实验室(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第一届全国扫描电子显微学会议
会议地点: 南宁
会议语种:中文
页码: 61～62
在线出版日期: 1999-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）