一体化厚膜高分子温湿度传感器的特性分析

摘要：

采用厚膜工艺将厚膜NTC热敏电阻和高分子湿敏电阻制作在同一基片上构成一体温湿度传感器，它具有体积小、响应速度快、测试精度高和易于集成化等特点。该文介绍了该传感器的设计原理、制作工艺、温湿度特性及影响因素，讨论了根据湿度传感器的温度漂移来调整负热敏电阻的参数，对湿度传感器进行温度补偿，从而提高了湿度测量精度。

关键词： 温湿度传感器 厚膜NTC热敏电阻 高分子湿敏电阻

作者: 林洪 郝永德 陈卢金 张彤 孙良彦

作者单位: 沈阳仪器仪表工艺研究所 吉林大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 289～292

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）