位置敏感器PSD测量面形

摘要：

阐述了PSD国内外应用情况及研究动向。详细介绍了三角洲量法系统的原理，对整个系统进行了精度分析。通过实验设计能测到范围2～50m内，精度能达5μm左右。

关键词： 位置敏感器PSD 三角测量法 误差分析 面形测量

作者: 赖万玖 刘炎焱

作者单位: 电子科技大学应用物理研究所(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届四川省光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 197～202

在线出版日期: 2000-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）