硅压阻式压力传感器的研制及性能测试

摘要：

微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器,进一步研制小体积高精度的传感器扩大应用范围已是事在必行.本文主要从提高传感器的性能角度来分析掩膜版设计中的重要问题,并对设计制作的传感器进行静态测试,取得了满意的实验结果.

关键词： 微压力传感器 掩膜版 性能测试

作者: 蒋庄德

作者单位: 西安交通大学精密工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 224-226

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）