微压力传感器制作工艺对其性能的影响

摘要：

影响微压力传感器性能的因素很多,除了从结构设计上来提高或改善传感器的性能外,通过控制和改进工艺也能提高或改善传感器性能指标.本文就是从微制作技术的角度来分析工艺对性能的影响.

关键词： 微压力传感器 微制作工艺

作者: 蒋庄德 岳彩青 姚鹏 赵玉龙

作者单位: 西安交通大学精密工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 36-38

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）