硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试

摘要：

微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛，其某些领域已取代传统的传感器，进一步研制小体积高精度的传感器并扩大应用范围已是势在必行。该文主要从提高传感器的性能角度来分析掩模版设计中的重要问题，并对设计制作的微传感器进行静态测试，取得了满意的实验结果。

关键词： 微压力传感器 掩模版 设计

作者: 蒋庄德 赵玉龙 岳彩青

作者单位: 陕西省西安交通大学精密工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2000年计量测试学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 377～380

在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）