微压传感器中的抗过载技术研究

摘要：

微压传感顺在实际使用过程中的抗过载强度是一个很重要的参数。该文对微压传感器的过压失效进行分析和研究，提出硅膜应力匀散和双层背岛限位新结构，使0.5kpa量程的微压传感器抗过载强度提高到100倍满量程以上。

关键词： 微压传感器 硅微机械加工 固态压力传感器

作者: 沈绍群 杨恒 鲍敏杭 孙立镌

作者单位: 复旦大学电子工程传感器研究室(上海) 哈尔滨理工大学计算机应用技术研究所(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 191～194

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）