电容检测型微差压传感器
在市场上,对于大于1psi压力测量的器件较多,当然市场也较大.对于微压的测量,一般微压检测器件的下限为600Pa.可检测600Pa以下微差压器件几乎没有(国内没有生产).本文主要介绍一种新型的电容检测型微差伺服传感器芯片.内容包括其结构和工艺实现,并对完成的差压传感器进行了检测,检测结构表明该器件对小于100Pa的差压敏感,并有较好的灵敏度.不仅可用于净化车间的气压监控,还可广泛用于类似气体管道中的表压、真空压的检测.
微压差传感器 电容检测 压力测量
韩明 中科院上海冶金研究所 王跃林 中科院上海冶金研究所
传感技术国家重点实验室
国内会议
上海
中文
230-233
2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）