探针式固态硅压阻动态压力传感器及其应用

摘要：

探针式固态硅压阻式动态压力传感器是采用集成电路工艺制成微型（１．２×１．２ｍｍ）芯片，利用特殊的整体设计与安装工艺技术设计研制的直径Φ２．２ｍｍ的动态压力传感器，其频响范围可达１００ＫＨＺ以上，静态总精度达０．３℅／Ｆ．Ｓ以上，是目前国内风洞、发动机等测试部门测量压力的不可缺少的器件。

关键词： 微型芯片 粘接 动态响应 总精度 温度稳定性

作者: 王志英 关玲

作者单位: 工业总公司第三零四研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国压力计量测试新技术学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 101～104

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）