一种微型喷的研究
微型喷是微型机电系统的一种重要执行器。它的主要应用方向为喷墨打印头、微供给、芯片冷却以及气流控制等。近几年来，随着航天领域微型化技术的发展，用于微型推进系统的微型喷的研究越来越受到重视。该文所研究了用于微型推进系统的微型喷，该微型喷采用以水为工质的电阻电热工作方式，利用硅微加工工艺制作。
微型喷 微型机电系统 执行器
丁海青 叶雄英 唐飞 周兆英
清华大学微米/纳米技术研究中心(北京)
国内会议
北京
中文
93～96
1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）