微机电系统的技术发展及产业化问题

摘要：

本文概述了微型机电系统的发展与技术特点,产业化、国防应用和基础研究的问题,以及我国微型机电系统的现状.国际上微型机电系统技术刚刚走向全面发展,正是我国发展该领域的好时机.

关键词： 微型机电系统 产业化 微型机械 微制造技术 机电一体

作者: 周兆英 王广龙 叶雄英 王晓浩 刘卫丹 李莎

作者单位: 清华大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第10届测试技术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 501-508

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）