单晶硅微型阀的设计制作

摘要：

本文研制的单晶硅微型阀是为了硅微型泵的应用专门设计的,但是微型阀本身也可以作为流体控制器件.文中详细说明了微型阀的设计和加工工艺,讨论了该阀加工过程中的干法腐蚀和湿法腐蚀工艺,以及自停止腐蚀工艺.

关键词： 微型阀 单晶硅 自停止腐蚀

作者: 王晓浩 周兆英 张文栋

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系(北京) 华北工学院(太原)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第10届测试技术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 729-734

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）