基于MEMS技术的微型电磁继电器的研究

摘要：

本文探讨了一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺.该继电器的特点是体积小、重量轻、寿命长等,在性能上介于普通电磁继电器和固态继电器之间,在制造工艺上类似固态继电器,因此可望大幅度降低造价,是一种有前途的新型继电器.

关键词： 微型电磁继电器 MEMS技术 微加工 微机电系统

作者: 张宇峰 张鹏飞 李德胜 王东宏

作者单位: 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 333-334

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）