微泵电磁致动器的研制与测试

摘要：

该文阐述了微型机电系统（ＭＥＭＳ）领域中微泵的几种常见的致动方式及其特点。根据硅微泵的结构特点，制作出用于微型泵的电磁致动器，并对该电磁致动器进行了分析与振动测试。

关键词： 微型泵 电磁致动器 振动测试

作者: 龚秋莲 周兆英 王晓浩 张文栋 夏邑

作者单位: 大学精密仪器与机械学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第九届测试技术年会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 376～381

在线出版日期: 1998-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）