两种微型低微压传感器的开发

摘要：

微型与微压均是压阻压力传感器制作中的难题，二者都要求就更难，作者应水工模型测量的要求开发了一种直径Φ５ｍｍ，量程１ｍＨ〈，２〉Ｏ，３ｍＨ〈，２〉Ｏ，测水且要背腔水密封的水工专用微型微压传感器。又应便携式军用呼吸机的要求，开发了一种直径Φ１２，量程２ＫＰａ的微型微压呼吸压传感器。合理的敏感芯片设计，微机械加技术及无应力封装是其成功的关键。

关键词： 微型 微压 压阻压力传感器 微机械加工 无应力封装

作者: 王文襄 王麦广 刘秀娥 朱作云 李跃进

作者单位: 传感器研究所 电子科技大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国压力计量测试新技术学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 105～106

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）