微型机械的发展及其在诊断工程中的应用

摘要：

简明地叙述了微型机械的发展和在国内外的研究现状，强调了微型马达的研究在微型机械发展中的重要性，列举了微型机械在诊断工程中若干应用。

关键词： 微型 机械 微电子机械系统 微系统 超声马达 微型机器人 机器人 微型机械 微电子技术 故障诊断

作者: 赵淳生

作者单位: 航空航天大学振动工程研究所(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国诊断工程技术学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 60～66

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）