微系统与微米/纳米技术及其发展

摘要：

概述了微系统及微米/纳米技术的特性及发展,并论述了国内外在微系统研究方面所取得的成就.

关键词： 微系统 微米/纳米 微电子机械系统

作者: 丁衡高

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）