电阻电热式微推进器的设计

摘要：

近几年来,随着航天领域微型化技术的发展,用于微型推进系统的微推进器的研究越来越受到重视.本文介绍了一种微推进器的设计及相关理论研究.该微推进器集成了微型主动阀/泵及压力传感器,采用电阻电热方式工作,利用硅微加工工艺制作.

关键词： 微推进器 MEMS 微喷管

作者: 唐飞 叶雄英 周兆英

作者单位: 清华大学微料/纳米技术研究中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 134-136

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）