微通道板酸洗工艺研究

摘要：

酸洗工艺是微通道板（ＭＣＰ）制做过程中形成倍增通道的关键环节，对ＭＣＰ的表面洁净度和增益均有直接的影响。该文从原理上分析了酸洗各步处理过程和主要参数与洁净度和增益的关系。包括ＨＣｌ处理、碱处理、ＨＦ处理过程及所涉及的温度、浓度、时间等工艺参数对ＭＣＰ性能的影响，并以实验数据给出了影响程度。

关键词： 微通道板 酸洗 表面洁净度 增益

作者: 关铭 王晓霞

作者单位: 建筑材料科学研究院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届硅酸盐青年学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 174～179

在线出版日期: 1998-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）