双晶型SMA薄膜微驱动器驱动原理与模拟

摘要：

本文建立了SMA薄膜/基片的耦合数学模型,对溅射在基片上的SMA薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟,结果表明SMA薄膜/基片的耦合驱动是双金属效应和形状记忆效应的双重结构,该驱动力比单纯双金属效应产生的驱动力大得多.该模型对于实际应用SMA膜/基片结构进行微驱动的器件设计具有理论指导意义.

关键词： 微驱动器 薄膜/基片 耦合驱动 SMA

作者: 王莉 蔡炳初 徐东 陈鉴

作者单位: 上海交通大学信息存储研究中心(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 115-118

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）