微机械光开关中的微扭转镜阵列
微机械光开关是光通信网实现光纤到户的关键器件。该文提出了一种通过微机械表面工艺和体硅工艺实现的新型微机械光开关，该开关由多晶硅梁支撑的扭转镜和硅衬底形成的侧壁组成，硅梁和微镜是由多晶硅薄膜形成的。该开关是通过静电吸引微镜的方式改变输入光的方向，完成光路的转换。支撑微镜的硅梁是弹性元件，与其它部分没有摩擦，大在提高了光开关的寿命。多晶硅微镜上溅射了一层铝，以提高向镜的反射效率。
微扭转镜 微机械光开关 多晶硅薄膜 微光机电系统
张培玉 郝一龙 李婷
/纳米加工国家重点实验室,北京大学微电子所
国内会议
厦门
中文
186～188
2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）