宽频带电容式微麦克风背极板的设计
电容式微麦克风的背极板结构决定了微麦克风的频率响应,用于音频测量的微麦克风其频带须大于20KHz.本文对微麦克风的等效线路模型进行了分析和简化,并使用FEA(有限元分析)方法对“软背极板”现象进行了数值计算.利用这种简单实用的设计方法分析得到的结果是,为了增大频率带度,背极板声学孔所占面积比和分布密度的必须满足一定的条件,并且背极板也需要具有一定的厚度,使用单晶硅作为背极板材料将有利于工艺实现.
微麦克风 背极板 频率响应 有限元分析
陈兢 刘理天 李志坚
清华大学微电子学研究所
国内会议
上海
中文
109-111
2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）