一种简单的微流量测控系统研究
测量和控制流体的流量在科学和技术的许多领域都十分重要,随着医药、生物工程、化学分析等领域的进一步发展,对微流量与控制提出了更高的要求.本文概述了当前微流量测量的现状,分析了现有系统在用于微流量测量时所需解决的问题. 由于硅压力传感器具有宽测量范围、高灵敏度及低成本等优点,本文提出了利用差压式硅压力传感器实现微流量的测量与控制.给出了压力传感器的输出曲线及动态范围;研究了九种等截面微管道对流体静压的影响,给出了压差与流量的关系曲线;设计并搭建了利用差压式硅压力传感器测量流量的简单系统;基于实验,分析了系统的测量范围与灵敏度,结果表明整个系统有较强的通用性.
微流体 微流量测量 硅压力传感器
刘长庚 周兆英 蓝金辉 王晓浩
清华大学精密仪器与机械学系(北京)
国内会议
合肥
中文
735-739
2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）