集成微流量控制系统的研究

摘要：

将微流量控制器件与微流量传感器以及相关的信号处理和控制电路相结合的微型化、集成化的微流量控制系统，已经成为MEMS研究的热点之一。

关键词： 微流量控制系统 微流量传感器

作者: 庞江涛 刘理天 李志坚

作者单位: 清华大学微电子研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 86～88

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）