关键词： 微流量泵 微小流量控制 铝硅双金属驱动单元
作者: 庞江涛 刘理天 李志坚
作者单位: 大学微电子学研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 580～583
在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）