模数0.03的微行星齿轮减速器的研究

摘要：

微减速器与微马达相配,可以提高微马达的输出力矩,拓展微马达的应用场合.本文介绍了用LiGA技术制造模数0.03微齿轮,并用显微装配技术集成直径2mm、减速比44.2的微行星齿轮减速器,并与直径2mm电磁型微马达组成微驱动器.

关键词： 微减速器 微电子机械系统 微马达 掩模板 微齿轮

作者: 陈文元 国家教委薄膜与微细技术开放实验室(上海) 张卫平 国家教委薄膜与微细技术开放实验室(上海) 范志荣 国家教委薄膜与微细技术开放实验室(上海) 徐正福 国家教委薄膜与微细技术开放实验室(上海)

作者单位: 上海交通大学信息存储研究中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 267-269

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）